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          English


          前期處理(等離子體清洗)

          整機規格

          1320mm×1030mm×1600mm(W×D×H)

          腔體規格

          400mm×450mm×400mm(W×D×H)

          腔體容積

          70L

          電極規格

          內置平板式電極,374×340(W×D)

          可載物層數

          共6層,層間距50mm

          電源系統

          固態晶體管等離子發生源

          控制系統

          觸摸屏+PLC控制

          進氣系統

          2路進氣、1路放空

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