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          English


          管式爐

          1200度高溫CVD(管式):

             1 爐管直徑:50MM,材料:石英;

             2 最高溫度:1200;控溫精度:±2;

             3 進氣:四路MFC(質量流量計),流量0-200SCCM;

             4 抽氣系統:旋片式真空泵,極限真空:6.7*10E-1Pa;

             5 氣路均采用精密衛生級不銹鋼制作;

             6 機架:工業鋁型材搭建,外觀簡潔,美觀;

             7 萬向腳輪:可任意移動至任何位置;



          1600度高溫CVD(管式):

             1 爐管直徑:80MM,材料:氧化鋁陶瓷(剛玉管);

             2 最高溫度:1600;控溫精度:±5;

             3 進氣:四路MFC(質量流量計),流量0-200SCCM;

             4 抽氣系統:旋片式真空泵,極限真空:6.7*10E-2Pa;

             5 氣路均采用精密衛生級不銹鋼制作;

             6 機架:工業鋁型材搭建,外觀簡潔,美觀;

             7 萬向腳輪:可任意移動至任何位置;


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