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          English


          有機金屬熱蒸發鍍膜機 FS-200

          設備參數

          腔體

          方形:200*200*350,前開門,門上有上下二個觀察窗,材質:SUS304

          真空系統

          分子泵+機械泵,配旁抽閥. 極限真空可到8.0*10-5Pa.

          真空計顯示范圍(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

          機架

          30進口鋁型材組裝,輕便,美觀

          基片盤

          手動控制,可任意角度定位.

          可裝1-420*20基片

          配四塊掩膜板(掩膜圖形0-8),

          擋板

          手動控制,四個基片位置中同時只蒸鍍一個.

          蒸發源

          金屬蒸發源:二組,共用一個陰極

          有機蒸發源:八組

          電源

          金屬蒸發電源:功率1KW,電壓8V,電流160A,數量:一套

          有機蒸發電源:功率:300W,二套,切換使用.

          膜厚儀

          國產膜厚儀:配二個水冷探頭



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